O termo “purificação” tem uma longa história em chinês, originalmente significando “tornar limpo e puro”, e pode referir-se amplamente a todos os processos e tecnologias para remover impurezas e eliminar a poluição. Os termos correspondentes em inglês incluem “purificação” (enfatizando a pureza) e “limpo” (enfatizando a limpeza). Portanto, a expressão inglesa para engenharia de salas limpas inclui “Engenharia de Purificação”, “Engenharia Limpa” ou “Tecnologia de Sala Limpa”, entre outras. Este significado amplo determina que a engenharia de salas limpas tenha conotações distintas em diferentes disciplinas.
A engenharia moderna de salas limpas, com tecnologia de salas limpas em seu núcleo, teve origem na década de 1950. Durante a Guerra da Coreia, os militares dos EUA descobriram que muitos instrumentos eletrónicos apresentavam frequentemente mau funcionamento devido à intrusão de poeira, o que estimulou o desenvolvimento da tecnologia de purificação do ar, especialmente a investigação e aplicação de filtros de partículas de ar de alta-eficiência (HEPA). Em 1961, Willis Whitfield, do Sandia National Laboratories, propôs um esquema de organização do fluxo de ar limpo de "fluxo laminar" (agora oficialmente chamado de "fluxo unidirecional"), permitindo que salas limpas atingissem níveis de limpeza sem precedentes. No mesmo ano, a Força Aérea dos EUA lançou o primeiro padrão de sala limpa do mundo e, em 1963, o Padrão Federal dos EUA FED-STD-209 foi publicado, marcando a formação inicial do sistema de tecnologia de sala limpa. Posteriormente, com o rápido desenvolvimento de indústrias como circuitos integrados e biomedicina, a tecnologia de engenharia de salas limpas inovou e evoluiu continuamente.
Na China, o "Código de Design de Sala Limpa" (GBJ 73-84) foi promulgado em 1984, e o "Código de Construção e Aceitação de Sala Limpa" (JGJ 71-90) foi promulgado em 1990. Após várias revisões, um sistema padrão nacional com GB 50073-2013 "Código de Design de Sala Limpa" em sua essência foi formado. Internacionalmente, a série de normas ISO 14644, compilada pelo comitê técnico ISO/TC209, são as diretrizes comuns para salas limpas e ambientes controlados relacionados. meu país adotou esses padrões e os implementou como a série GB/T 25915.